ウェーハ研磨におけるグリーンシリコンカーバイドの利点
グリーンシリコンカーバイドは、硬度、純度、そして制御された材料除去の組み合わせが求められるウェーハ研磨に最適です。コスト効率の高いアルミナと非常に高価なダイヤモンド研磨材の間のギャップを埋める役割を果たし、半導体および光学産業において好ましい選択肢となっています。
グリーンシリコンカーバイドは、硬度、純度、そして制御された材料除去の組み合わせが求められるウェーハ研磨に最適です。コスト効率の高いアルミナと非常に高価なダイヤモンド研磨材の間のギャップを埋める役割を果たし、半導体および光学産業において好ましい選択肢となっています。
Silicon carbide (SiC) is a high-performance refractory
黒色炭化ケイ素(SiC)は、高い熱伝導率、耐熱衝撃性、機械的強度、化学的安定性などの優れた特性があるため、発泡セラミックによく使用されます。