グリーンシリコンカーバイド(SiC)は、高い硬度(モース硬度9.2~9.5)と鋭角な粒子形状により、ラッピング、研磨、研削加工で広く使用されている研磨材です。ラッピングメディアとしての機能は以下の通りです。
ラッピング用グリーンシリコンカーバイドの特性:
高硬度 – 酸化アルミニウムよりも硬く、ダイヤモンドに近いため、炭化タングステン、セラミック、ガラスなどの硬い材料のラッピングに効果的です。
鋭く砕けやすい粒子 – 圧力によって破砕され、鋭い切れ味を維持し、一貫した材料除去を実現します。
化学的安定性 – 冷却剤やワークピースの材料との反応に耐性があり、精密ラッピングに適しています。
熱伝導性 – 熱を放散させ、ワークピースへの熱による損傷を軽減します。
一般的な用途:
硬質材料: 炭化タングステン、サファイア、セラミック、石英、シリコンウエハー。
精密ラッピング: ラッピングコンパウンドまたはスラリーで微細な表面仕上げに使用されます。
遊離研磨剤研削/研磨: 手動または機械によるラッピング用にオイルまたは水性キャリアと混合します。
利用可能な粒度サイズ:
粗い(F80~F220): 素早い材料除去に適しています。
中 (F240~F600): 中程度のスムージング。
ファイン (F800~F1200+): 細かい仕上げと非常に滑らかな表面に最適です。
他の研磨剤に対する利点:
硬質材料の場合、酸化アルミニウム(白または茶色)よりも速く切断します。
多くの用途においてダイヤモンドや炭化ホウ素よりも手頃な価格です。
ワークピースに埋め込まれる可能性のある柔らかい研磨材に比べて、汚染リスクが低くなります。
制限事項:
過剰な埋め込みのため、軟質金属(アルミニウム、銅など)のラッピングには適していません。
極めて高い硬度が求められる用途ではダイヤモンドよりも早く摩耗します。
使用上のベストプラクティス:
ラッピング オイルまたは水ベースのキャリアと併用して、 粒子の分散と冷却を改善します。
希望する表面仕上げに合わせて粒度を調整します (より滑らかな仕上げには粒度が細かいものを使用します)。
切削効率を維持するために、研磨スラリーを定期的に交換してください。
代替案:
ダイヤモンド: 超硬質材料 (PCD、CVD コーティングなど) に最適ですが、高価です。
炭化ホウ素 (B₄C): SiC よりも硬いですが、高価であまり一般的ではありません。
酸化アルミニウム (Al₂O₃): より柔らかく、鋼鉄やより柔らかい合金に適しています。