緑色の炭化ケイ素研磨粉
緑色炭化ケイ素研磨粉末は、高品質の緑色炭化ケイ素原料を粉砕、成形、精製、精密分類、乾燥を経て製造された、高純度の超微細研磨粉末です。高硬度、鋭い刃先、優れた自己研磨性、高い熱伝導率、安定した化学的性質といった特長を備えています。
| 典型的な化学分析 | |
| SiC | 99.05%以上 |
| SiO2 | ≤0.20% |
| F、Si | ≤0.03% |
| Fe2O3 | ≤0.10% |
| FC | ≤0.04% |
| 代表的な物理的性質 | |
| 硬度: | モース硬度:9.5 |
| 融点: | 2600℃で崇高 |
| 最大使用温度: | 1900℃ |
| 比重: | 3.20~3.25g/cm3 |
| かさ密度(LPD): | 1.2~1.6 g/cm3 |
| 色: | 緑 |
| 粒子の形状: | 六角 |
| 利用可能なサイズ: | |
| 微粉末: JIS:240# 280# 320# 360# 400# 500# 600# 700# 800# 1000# 1200# 1500# 2000# 2500# 3000# 4000# 6000# 8000# 10000# フィード: F230 F240 F320 F360 F400 F500 F600 F800 F1000 F1200 F1500 F2000 | |
主な機能
- 高純度、低不純物含有量で、ラッピング中の汚染を防ぎます。
- 極めて微細で均一な粒子サイズ分布
- 高硬度(モース硬度約9.5)、優れた研削効率
- 破損率が低く、精密仕上げや鏡面研磨に適しています。
- 化学的に不活性で、酸やアルカリによる腐食に強い。
代表的な用途
- 半導体ウェーハ、シリコンウェーハ、および太陽電池材料の精密ラッピングおよび研磨
- 光学ガラス、石英、セラミック部品、サファイア仕上げ
- 硬質合金製の工具、宝石、精密機械部品
- 精密ホーニング、超仕上げ、および遊離研磨加工